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絕緣環

氮化硅(si3N1)有兩種品型，即一siN4和p—si：Nd，均屬六方晶系，兩者都是6EsiO‘]四面體共用頂角構成的三維空間網絡，相在高溫下可轉變為p相，但一般認為兩相在結構上只有對稱性的差別(9相對稱性較高)，而無高低溫相之分表5—5列出了Si3Nd的兩個相的晶格常數及密度。

關鍵詞：

氧化鋁陶瓷、氮化硅陶瓷、氧化鋯陶瓷

所屬分類：

氮化硅陶瓷

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氮化硅在半導體應用在哪些方面
近幾年來,隨著測試分析技術和制造工藝的發展,氮化硅陶瓷制品的可靠性得到不斷提高,故應用面也在不斷擴大特別值得一提的是正在研制的氮化硅陶瓷發動機,而且已經取得了很大的進展,這在國家科學技術上已經成為舉世矚目的大事與其應用相關的內容有:(1)在冶金工業上:制成馬弗爐爐膛、燃燒嘴、坩堝、鑄模、鋁液導管、熱電偶測溫保護用套管、發熱體夾具、鋁電解槽襯里等熱工設備上的部件;(2)在化學工業上:制成泵體、密封環、燃燒舟、球閥、熱交換器部件、過濾器、固定化觸媒載體、蒸發皿等;(3)在機械工業上:制成軸承、高速車刀、金屬部件熱處理的支承件、轉子發動機刮片、燃氣輪機的導向葉片、渦輪葉片等;(4)在航空、半導體、原子能等工業上:用于制造薄膜電容器、承受高溫或溫度劇變的電絕緣體、開關電路基片、導彈尾噴管、原子反應堆中的隔離件和支承件、核裂變物質的載體等;(5)正在研制中的氮化硅質的全陶瓷發動機代替同類型金屬發動機。氮化硅陶瓷等代替合金鋼制造陶瓷發動機，其工作溫度可達1300℃～1500℃ 1998年，美國軍方曾做過一次有趣的實驗：在演習場200米跑道的起跑線上，停放著兩輛坦克，一輛裝有500馬力的鋼質發動機，而另一輛裝有同樣馬力的陶瓷發動機陶瓷發動機果然身手不凡，那輛坦克僅用了19秒鐘就首先到達終點，而鋼質發動機坦克在充分預熱運轉后，用了26秒才跑完全程陶瓷發動機的熱效率高，不僅可節省30％的熱能，而且工作功率比鋼質發動機提高45％以上另外，陶瓷發動機無需水冷系統，其密度也只有鋼的一半左右，這對減小發動機自身重量也有重要意義。氮化硅陶瓷具備金屬材料等其他原材料所沒有的長此即優質的耐溫性、強度、抗磨損性、耐蝕性和質輕性等，但瓷器也是有易脆、抗沖擊性和耐高溫破壞性低的具有缺陷，使作用的運用遭受挺大的限定。

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